Турбомолекулярные вакуумные насосы марки TURBOVAC серии MAG
| Параметр |
W300P |
W400P |
W600P |
W700P |
W1500 |
W2200 |
W2800 |
W3200 |
|
Высоковакумный патрубок |
100 ISO-K 100 CF |
160 ISO-K 160 CF |
160 ISO-K 160 CF |
200 ISO-K 200 CF |
250 ISO-K 200 CF |
250 ISO-K 250 CF |
250 ISO-K 250 CF |
320 ISO-K |
|
Форвакумный патрубок |
16 ISO-KF | 16 ISO-KF | 25 ISO-KF | 25 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF |
|
Скорость откачки по азоту, л/с |
300 | 365 | 550 | 590 | 1220 | 2000 | 2650 | 3200 |
|
Предельное остаточное давление ISO-K/CF, мбар |
1·10-8 / 1·10-10 | |||||||
|
Макс. форвакуумное давление, мбар |
8,0 | 8,0 | 6,0 | 6,0 | 2,6 | 2,0 | 2,0 | 2,0 |
|
Масса, кг |
12,0 | 12,0 | 17,0 | 17,0 | 32,0 | 28,0 | 64,0 | 65,0 |
|
Размеры, мм |
155 х 155 х 250 | 180 х 180 х 250 | 204 х 204 х 281,5 | 240 х 204 х 280,5 | 285 х 285 х 307 | 317 х 317 х 371 | 307 х 307 х 391 | 425 х 425 х 316 |
TURBOVAC MAG турбомолекулярные вакуумные насосы на магнитном подшипнике от Leybold GmbH с раздельным блоком электроники
Вакуумные турбомолекулярные насосы на магнитном подшипнике производятся серийно компанией Leybold GmbH (Германия) с 1975. Проблема ранних турбомолекулярных насосов того времени ненадежность и возможность эксплуатации только в неагрессивных применениях. Именно в 80-е годы различными отраслями промышленности было поставлен ряд сложных задач:
- бесмаслянный высокий вакуум;
- высокий вакуум с одновременным присутствие агрессивных газов (коррозионно-активных, опасных для человека)
- циклическая работа высоковакуумного насоса
Одним словом, появилось большое количество перспективным применений, в которых применение классических высоковакуумных турбомолекулярных насосов было невозможным. Благадаря такой вынужденной потребности и произошел скачек в выпуске серийных турбомолекулярных насосов на магнином подвесе TURBOVAC MAG.
Первые TURBOVAC MAG имели небольшую производительность - 300 - 360 л/с, и основным применением стала реализация процессов испарения газовай фазы на подложки (напыление - ECVD PECVD PVD) с примененим вредных коррозионно-активных веществ.
Турбомолекулярные вакууные насосы TURBOVAC MAG для агрессивных процессов
Далее Leybold GmbH (Германия) начинает выпускать на рынок модели MAG 830 и 1300. Появляются также версии со специальным покрытием ротора и проточной части (для исключения реакции с откачиваемой средой) - версии C, а также модели со стабилизацией температуры внутри вакуумного насоса для исключения конденсации откачиваемых веществ - версии T.
Принцип работы действия турбомолекулярного насоса TURBOVAC
Во внутреннем пространстве корпуса установлена турбина с лопатками. Вследствие того, что скорости лопаток ротора и молекул газа полностью соизмеримы, образуется разница вероятностей движения газовых частиц по направлению от одного насоса к другому (частицы проходят сквозь насос, но обратно не возвращаются). Процесс откачивания газа в рассматриваемом насосном устройстве находится в состоянии зависимости от прямого потока газовых молекул, который движется от всасывающего фланца к форвакуумному порту.
Серия TURBOVAC MAG C и CT
Данная серия характеризуется наличием полноценного 5-ти осевого магнитного подшипника (но имееют опорный механический подшипник - для работы в аварийныхз ситуациях). все насосы серии MAG питаются от отдельного преобразователя частоты - это несомненно преимущество, т.к. срок службы электроники меньше срока службы насоса, также возможно разместить блок электроники на большом удалении от насоса - это нужно в применениях с особыми внешними условия вокруг насоса.
Серия TURBOVAC MAG
Функционирование насосов данной серии, оснащенных подвесом ротора магнитного типа, в паре с технически совместимыми форвакуумными насосами позволяет эксплуатировать ТМН в диапазоне давлений 10-1 мбар - 10-10 мбар. Показатель скорости откачивания по воздуху составляет 300 л/с - 3200л/с. Насосное оборудование линейки TURBOVAC MAG широко используется для создания проводников (то есть в тех процессах, где требуется откачивание сред, способных вызвать коррозию), а также в электронно-лучевых микроскопах.
Преимущества насосных устройств TURBOVAC MAG:
- абсолютно безмаслянное средство откачки вакуум;
- монтаж в любой ориентации;
- высокий срок службы основных узлов;
- небольшая вибрация;
- полностью адаптирован по откачку агрессивных сред;
- отсутствие обслуживание подшипникового узла;
- проверенная многолетные эксплуатацией концепция.
