TURBOVAC i / iX Турбомолекулярные вакуумные насосы

Турбомолекулярные вакуумные насосы TURBOVAC серии i/iX (i, iX/T i, T iX) на гибридном подшипнике от Leybold GmbH (Германия)

Серия I/iX представляет собой модульную линейку турбомолекулярных насосов, образующую единый модуль вместе с интегрируемой электроникой.

При разработке насосного оборудования TURBOVAC I/iX в первую очередь учитывалась необходимость в том, чтобы откачные характеристики соответствовали геометрическим размерам.

Наличие новой конструкции узла ротор/статор позволяет получать оптимальные показатели по быстроте откачки, степени сжатия (особо актуально для легких газов), газовой нагрузке и так далее. Варианты с дожимающей ступенью Хольвега тоже доступны.

Подшипниковый узел состоит из постоянного магнита, который отвечает за восприятие радиальной нагрузки и опорный керамический подшипник для восприятия осевой нагрузки. Керамический подшипник находится на стороне форвакуума, смазка закладывается на весь срок службы подшипника и меняется вновь закладывается при замене подшипника. Благодаря новой концепции подшипникового узла замену механического подшипника можно производить без использования специального балансировочного оборудования, то есть при использовании простого инструмента.

В турбомолекулярных насосах TURBOVAC i от Leybold GmbH, имеющих стандартную комплектацию, есть возможность подключать газ для вентилирования, а также есть порт для подключения газа напуска в насос через клапан или дроссель.

Для насоса TURBOVAC i доступны различные варианты электроники

Все рассматриваемые насосные устройства оснащены интегрированным блоком электроники 24/48 В, функциональная нагрузка которого состоит в полном контроле за работой (включая подачу питания, а также частоту оборотов насоса). Возможность установить мультиинтерфейсный модуль тоже имеется.

Насосные устройства серии I/iX отличаются особой гибкостью в плане мониторинга и контроля. Подобные широкие возможности объясняются солидным выбором исполнений как самого насоса, так и других составляющих: электроники, корпуса, аксессуаров.

В отличии от версии i насосы серии iX оснащаются контроллером вакуумной системы встроенного типа, который способен управлять не только датчиком вакуума, но и также вентилятором, клапаном и форвакуумным насосом. Наличие модулей разных интерфейсов существенно упрощает процесс монтажа (интеграции) насоса в состав общей системы и облегчает его ввод в эксплуатацию.

Выбор конструкции вакуумного модуля насоса (статора, ротора, ступени Хольвега) зависит от индивидуальных требований отдельно взятого процесса: необходимой быстроты откачки легких (либо тяжелых) газов, наличествующей газовой нагрузки, актуальной степени сжатия, присутствия мультикамерных систем.

Широкий выбор корпусов, а также вариантов размещения блоков электроники гарантируют удобность установки. Наличие дополнительных аксессуаров для линейки I/iX существенно расширяет перечень сфер применения.

Эксплуатационные преимущества:

• высота параметров откачки, обеспечиваемая инновационной концепцией;
• оптимальное соотношение стоимости и быстроты откачки;
• высота наработки на отказ (действует концепция необслуживаемого подшипникового узла);
• наличие модульной концепции, обеспечивающей максимальную адаптивность к различным сферам использования;
• широкий выбор исполнений фланцев и корпуса;
• простота установки в любом положении;
• наличие разных модулей интерфейса, позволяющее максимально упростить интеграцию устройства в процесс;
• широкий выбор опций (вентиляции, источника питания, нагревателей, охлаждения и ряда других).

Варианты электроники, свойственные для насоса TURBOVAC i

Данная стандартная версия является выгодным решением, которое оснащено всеми базовыми функциями, а также управляющим интерфейсом.

• напряжение питания у преобразователя частоты способно составлять 24/48 В DC;
• в комплектацию могут входить лампочки состояния LED;
• есть опциональная возможность подключать до двух компонентов;
• широта выбора управляющих интерфейсов (цифровой 15-пинов, RS 485, USB);

Особенности версии TURBOVAC i (с мультиинтерфейсный модулем)

• функциональные возможности как у версии «i плюс»;
• интерфейс RS 485 может быть в зависимости от потребностей заменен на: RS 232, Profibus, либо Ethernet/IP.

Особенности версии TURBOVAC iX (с мульти интерфейсным модулем и контролем состояния вакуумной системы)

• функциональные возможности как у версии «i плюс»;
• наличие трех выходов с целью контролирования дополнительных устройств.
• есть одно подключение вакуумного датчика для записи параметров и питания;
• гибкость конфигурации выходов контроллера;

Конструкционные варианты насоса

Версия i,iX

Вариант категории «стандарт» для тех сфер, где необходима компактность устройства. Присутствие ступени Хольвега дает высоту степеней сжатия, а также требуемую быстроту откачки (главным образом, для легких газов). Вследствие высокой компрессии становится возможной бесперебойная работа как со спиральным, так и с диафрагменным насосом.

Версия T i, T iX

Классический ротор, лишенный дополнительной дожимающей ступени, позволяет использовать оборудование версии T в процессах с особыми требованиями, а также при высоких нагрузках газа. По сравнению со стандартным вариантом версия T дает большую скорость откачки, подходит для существенно возросшей нагрузки газа, а также демонстрирует малую чувствительность к присутствию твердых частиц либо пыли внутри откачиваемой среды.

Версия i с несколькими входами

Ротор специальной конструкции, а также наличие двух и более входов, дает в итоге компактное и вместе с тем эффективное решение, подходящее для мультикамерных систем. Версия I – это высота уровня интеграции (по сравнению с единовременным использованием нескольких насосов), а также минимальный вес и габариты. Новый узел ротор/статор служит дополнительной гарантией надежности.

Преимущества эксплуатации турбомолекулярных вакуумных насосов TURBOVAC i

Версия i

• высокое качество исполнения и широкий функционал по доступной цене;
• гибкость и простота на всех этапах (интеграции, эксплуатации и сопутствующего контроля);
• максимальность выработки и периода эксплуатации при минимальных затратах текущего характера;
• быстрота откачки и меньшее конечное давление;
• превосходные показатели во время откачки легких газов;
• наличие возможности использовать меньший форвакуумный насос.

Версия iX

• простота системы для подключения контроллера;
• нет затрат на кабели, а также на контроллер для вакуумной системы.

Версия T i, T iX

• совместимость с процессами, отличающимися особыми требованиями, а также наличием высоких нагрузок газа;
• уменьшенный хронометраж цикла, а также выхода насосного устройства на режим.